考核指标：质量分析范围 4～250；质量分析稳定性≤25 ppm；分辨率 LR300/MR4000/HR10000；平均背景≤0.5 cps；丰度灵敏度≤10 ppb；主成分重复性≤3% RSD；微量成分重复 性≤5% RSD；痕量成分重复性≤10% RSD。项目完成时通过 可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥3000 小 时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自 主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用，满足用 户使用要求。

 

考核指标：序列平均读长≥15 kb；最长读长≥500 kb；DNA 直接测序最高准确率≥92%；最大电流测量≥500 pA；电流测 量分辨率≤1 pA；采样率≥1 kHz；可溯源量值定值和质量评 价方法≥3 种；基 因组比对一 致性≥99% ；组装 连续度 NG50≥1M 碱基；结构变异检测精度与检出率≥90%（片段长 度≥50 bp）。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至 少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作 权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力， 经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

 考核指标：视场≥10 μm×10 μm；横向分辨率≤150 nm， 纵向分辨率≤350 nm，时间分辨率≥15 帧/秒（2D 成像），时 间分辨率≥8 帧/秒（3D 成像）。项目完成时通过可靠性测试 和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就 绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专 5 利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：磁场强度≥14 T；室温孔径≥50 mm；磁场稳 定度≤9 Hz/h；磁场均匀度≤0.05 ppm；支持多核素频谱分析 范围 1H、13C、15N、31P、129Xe 等；射频带宽 50～650 MHz；波谱频率分辨率≤0.003 Hz；射频发射通道数≥2 通道；液氦 补充时间≥150 天。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地 测试，平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软 件著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生 产能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：电采样模块：通道数量 2；测试带宽≥85 GHz；采样率≥150 kSa/s；采样分辨率 16 bit；光采样模块：波长范 围 800 nm～1600 nm；光接收灵敏度优于-7 dBm；测试带宽 ≥85 GHz；采样率≥150 kSa/s；采样分辨率 16 bit。项目完成 时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间 ≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域 或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量， 具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用，满足 用户使用要求，用户已实际采购。

 

考核指标：手性分子纯度检测范围 0.1%-99.9%，离子迁 移谱分辨率≤300；手性物质分析灵敏度≤10 -10 摩尔/升；质谱 质量分辨率≥100000；手性分子分析时间≤10 分钟/样品；建 立手性物质数据库 1 套。项目完成时通过可靠性测试和第三 方异地测试，平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不 低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标 准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成 批量生产能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

针对光电探测器、MEMS 微系统、半导体集 成电路等微小型器件和光学器件表面和亚表面缺陷检测需 求，突破高倾斜光滑微结构、深 V 结构、混合材料层叠微结 构、层叠结构亚表面等复杂微结构三维几何形状表征、三维 几何参数精密测量、亚表面缺陷检测等关键技术，开发具有 自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的复杂微结 构三维光学显微测量仪，开发相关软件和数据库，开展工程 化开发、应用示范和产业化推广，实现在超光滑光学表面损 伤、半导体集成电路、光电集成电路等领域的应用。        考核指标：显微视场≥100μm×100μm；水平方向表面显 微分辨率 250 nm；水平方向亚表面显微分辨率 400 nm；垂 直方向分辨率 5 nm～20 nm；光滑微结构测倾斜角度≥50°；单一材料台阶高度测量误差≤5%；多层材料测量误差≤10%；亚表面缺陷检测深度≥110 μm；缺陷检出灵敏度≥200 nm；深 度定位精度≤2 μm；高能损伤缺陷判定准确率≥80%。项目完 成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间 ≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域 或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量， 具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用， 满足用户使用要求。

 

考核指标：液态镓离子源，聚焦离子束扫描分辨率≤5 nm@30kV（双束重合点），加速电压≥30 kV，束流 1 pA ~ 65 nA；聚焦电子束分辨率≤1.2 nm@1kV（双束重合点），加速 电压≥30 kV，束流 3 pA ~ 50 nA；最大样品直径≥150 mm， 垂直方向高度调节范围≥40 mm；具备聚焦离子束材料刻蚀、 沉积和透射电镜样品制备、3D 结构重构能力；具备聚焦离 子束加工过程中扫描电子束实时观察能力。项目完成时通过 可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥3000 小 9 时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自 主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用，满足用 户使用要求。

 

考核指标：激光器波长数≥4；激发荧光波长数≥30；荧 光检测灵敏度：FITC≤80 MESF，PE≤30 MESF；细胞检测和 分析速度≥70000 细胞/秒；分选纯度≥98%；颗粒检测大小 0.2 μm～50 μm。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至 少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作 权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力， 经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：微尖曲率半径范围 1.2µm～0.4µm（可控）， 误差≤±0.05 µm；阴极温度 1750 K-1800K；栅极电压-200 V～ -600 V（可调）；角电流密度 200 µA/sr；引出电压 3 kV-6 kV （可调）。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达到 9 级；至少 应用于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定 用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：探测面积≥8 mm×24 mm；阴极光谱响应范围 ≥165 nm～900 nm；阴极积分灵敏度≥250 μA/lm；增益≥1×10 7；暗计数率≤103 cps；暗电流≤10 nA(1000 V)。项目完成时通过 可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥5000 小 时，技术就绪度达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明 专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产 权；形成批量生产能力，经指定用户试用，满足用户使用要 求。

 

考核指标：通道数≥2；扫描孔径≥2 cm；射频探头匹配 ≤-15 dB；探头温度≤30 K；前置放大器噪声系数≤1 dB；灵敏 度提高（低温/常温）≥4 倍。项目完成时通过可靠性测试和 第三方异地测试，平均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪 度达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明专利、标准和 软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量 生产能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：探测器尺寸≥10 mm2；能量分辨率≤127 eV (Mn K)；探测元素范围 Be-Am；最大输入计数率 1000 kcps；最大输出计数率 300 kcps；窗口材料铍、氮化硅(≤100 nm)或 无窗。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均 故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达到 9 级；至少应用 于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权 数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户 试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：空间分辨率≥128×128；倾斜测量范围≥±3°；倾斜测量精度≤1 μrad；相对波前测量精度（RMS）≤λ/150；绝对波前测量精度（RMS）≤λ/100；重复性精度（RMS）≤λ/200；工作波长范围 400 nm~1100 nm；频率≥7 Hz。项目完成时通 过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发 明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识 产权；形成批量生产能力，经指定用户试用，满足用户使用 要求。

 

考核指标：最低存储温度≤-160 ℃；真空度≤5×10 -4 Pa；运动精度≤100 μm；样品存储数量≥12 grids；镀膜真空度≤4 Pa；镀膜样品台温度≤-160 ℃。项目完成时通过可靠性测试和第 三方异地测试，平均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度 达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软 件著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生 产能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：稀释制冷最低温度≤10 mK；制冷量≥500 μW （100 mK）；系统漏率≤1×10 -9 Pa∙m3 /s；封装后最大比表面积 ≥900 m2。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平 均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达到 9 级；至少应 用于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产 权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：单极换能器（长度伸缩）：工作频带 10 kHz-20 kHz；最高耐温≥260 ℃；偶极换能器（弯曲振动）：工作频 带 1-4.5 kHz；最高耐温≥230 ℃；超声换能器（厚度振动）：工作频带 300 kHz～700 kHz；最高耐温≥175 ℃；多极接收器：低频接收工作频带 1 kHz-20 kHz；最高耐温≥230 ℃。项目完 成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间 ≥5000 小时，技术就绪度达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自 主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用，满足用 户使用要求。

 

考核指标：探测器中心频率 0.1 THz～0.3 THz；中频带 宽≥5 GHz；噪声温度≤7 倍量子噪声；动态范围≥30 dB；像素 ≥1×10。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平 均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达到 9 级；至少应 用于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产 权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用 户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：可控制硫酸、盐酸和氢氧化钠溶液等强腐蚀 性流体；流体控制调节范围 0 L/min～4 L/min；调节流量可 重复性≤0.5%（最大流量）；内部流体泄露≤0.5 ml/min；承受 流体温度≥90 ℃；工作压力 0 MPa～0.5 MPa；阀体防护等级 IP65。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均 故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达到 9 级；至少应用 于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户 试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：增益≥10 5（模拟工作状态下），增益≥10 7（脉 冲计数方式下）；暗电流≤1 pA；暗计数率≤50 cps；单离子脉 冲宽度/半高宽≤0.55 ns。项目完成时通过可靠性测试和第三 方异地测试，平均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达 到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软件 著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产 能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：2.92 mm 连接器探针：工作频率 DC～40 GHz， 18 插入损耗≤1.5 dB；2.4 mm 连接器探针：工作频率 DC～50 GHz，插入损耗≤1.5 dB；1.85 mm 连接器探针：工作频率 DC～ 67 GHz，插入损耗≤2.0 dB。项目完成时通过可靠性测试和第 三方异地测试，平均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度 达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软 件著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生 产能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：频率范围 0 MHz-50 MHz；输入电压噪声≤5 nV/√Hz；动态储备≥120 dB；满量程输入灵敏度≤1 nV；A/D≥14 bit；相位分辨率≤1 μdeg；频率分辨率≤0.7 μHz。项 目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔 时间≥5000 小时，技术就绪度达到 9 级；至少应用于 2 类仪 器。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具 有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用，满 足用户使用要求。

 

考核指标：像元数≥1920×1080；相位范围≥2π（1064 nm）；相位灰阶≥8 bit；填充因子≥92%；衍射效率≥80%；刷新频率 ≥60 Hz；最大输入光功率密度≥20 W/cm2。项目完成时通过 可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥5000 小 时，技术就绪度达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明 专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产 权；形成批量生产能力，经指定用户试用，满足用户使用要 求。

 

考核指标：工作能段 1 keV～8 keV；聚焦斑点≤100 m；口径≤15 mm；聚焦镜长度≥30 mm。项目完成时通过可靠性 测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥5000 小时，技 术就绪度达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明专利、 标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形 成批量生产能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：中心波长 633 nm；相干长度≤300 µm；功率 ≥1 mW（单模光纤输出）；双频频差 5 Hz 和 10 Hz；频差不 稳定度≤1%；光程匹配范围≥100 mm。项目完成时通过可靠 性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥5000 小时， 技术就绪度达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明专利、 标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形 成批量生产能力，经指定用户试用，满足用户使用要求。

 

考核指标：加速电压-20 V～-35 kv（可调），纹波≤20 mV, 稳定性≤10 ppm/15 min；抑制级电压-200 V～-1 kV（可调）， 纹波≤15 mV，稳定性≤10 ppm/15 min；引出级电压：1 kV～6kV（可调），纹波≤15 mV，稳定性≤10 ppm/15 分钟；灯丝电 源电流 0 A～3 A（可调）、电压 0 V～5 V（可调）,电流稳定 性≤0.5 mA/1 h。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测 试，平均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度达到 9 级；至少应用于 2 类仪器。明确发明专利、标准和软件著作权等 知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经 指定用户试用，满足用户使用要求。2.19 多通道可变分辨率数据采集卡

 

1、数学和应用研究

2、干细胞研究与器官修复

3、纳米前沿

4、生物大分子与微生物组

5、物态调控

6、催化科学

7、工程科学与综合交叉

8、大科学装置前沿研究

9、信息光子技术

10、高性能计算

11、多模态网络与通信

12、区块链

13、氢能技术

14、储能与智能电网技术

15、交通基础设施

16、新能源汽车

17、新型显示与战略型电子材料

18、稀土新材料

19、先进结构与复合材料

20、高端功能与智能材料

21、网络空间安全治理

22、智能传感器

23、高性能制造技术与重大装备

24、工业软件

25、地球观测与导航

26、文化科技与现代服务业

27、病原学防疫技术体系研究

28、长江黄河等重点流域水资源综合治理

29、生物关键技术研究

30、生育健康与妇女儿童健康保障

31、战略性矿产资源开发利用

32、诊疗装备与生物医用材料

33、生物与信息融合

34、常见多发病防治研究

35、社会治理与智慧科技支撑

36、重大自然灾害防控

37、国家质量基础设施体系

38、基础科研条件与重大科学仪器设备研究

39、农业生物重要性状形成与环境适应性研究

40、农业生物种质资源挖掘与创新利用

41、北方干旱半干旱与南方红黄壤等中低产田提升科技

42、农业面源、重金属污染防控和绿色投入品研发

43、黑土地保护和利用科技创新

44、重大病虫害防控综合技术研发与示范

45、畜禽新品种培育与现代牧场科技创新

46、动物疫病综合防控关键技术研究

47、林业种质资源培育和提升技术

48、工厂化农业关键技术与智能农机装备

49、食品制造与农产品物流科技支撑

50、乡村产业共性关键技术研发与集成应用

51、深海和极地关键技术装备

52、海洋环境安全保障与岛礁可持续发展